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全自動化型虛擬量測的伺服器與系統及方法

獎別:發明金
專利證書號:I349867
專利權作品:全自動化型虛擬量測的伺服器與系統及方法
得獎人:鄭芳田、黃憲成、黃宜婷、簡嘉懋
chengft@mail.ncku.edu.tw  wilson@super.ime.ncku.edu.tw 
tinahuang@super.ime.ncku.edu.tw  allen_chien@motech.com.tw


全自動化型虛擬量測的伺服器與系統及方法


這次獲獎的AVM系統包含有一個建模伺服器及多個AVM伺服器,包含虛擬量測推估模型、RI (Reliance Index;信心指標)模型、GSI (Global Similarity Index;整體相似度指標)模型、DQIX (Process Data Quality Index;製程資料品質指標)模型以及DQIy (Metrology Data Quality Index;量測資料品質指標)模型。第一階段由DQIX 和 DQIy模組執行製程與量測資料自動品質評估,第二階段則加入模型更新機制,以便在其他的AVM伺服器自動進行模型更新,提升生產線上所有機台的穩定性與良率。


全自動化型虛擬量測的伺服器與系統及方法


全自動化型虛擬量測的伺服器與系統及方法

獎牌: 發明金

專利字號: I349867

  • 更新日期: 102 年 03 月 15 日  瀏覽人次:3908